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Throttle valve
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[APC200] [APC200] APC200 [Throttle Valve Controller]
수정일시:2019/09/04 (15:56) 조회(5047) 작성자:관리자
APC200 Throttle ValveController APC200 은 GPC3000 의 Upgrade Version 으로 Pressure&Flow Controller는 기본적으로 Capacitance Manometer에 Power(±15VDC)를 공급하고 이로부터 Pressure Signal을 받아들여 Display함과 동시에 Throttle Valve를 연결하고 PID또는 Self-Tuning 기능을 사용하여 Pressure를 Control하는 장치이다. 이 중에서 Self-Tuning기능을 사용하면 Chamber 내로 유입되는 Gas의 양, Pump Speed, Valve Position 별 진공 압력 변화, 그리고 기타 다른 중요한 Parameter들을 감지하여 Pressure Control Factor들을 습듭한다. User가 이 기능을 사용하여 Pressure Control을 할 경우 원하는 압력에 보다 빨리 도달 할 수 있다. Process Limit Relay가 2개 내장되어 있어 User의 장비 Process에 도움이 되도록 하였다.
Features & Benefit ■ APC200 에는 Option으로 최대 4개의 MFC를 연결할 수 있는 PCB Card가 준비되어 있으며 PCB 1장당 2 Channel(MFC 2개 연결)로 구성되어 있다. ■ APC200 은 아주 편리하고 간단하게 Local(Front Panel), I/O 또는 RS-232 / RS-485 Remote로 모든 제어가 가능하게 설계 되어 있다.
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