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제품안내

 
제품안내 Controller Throttle valve

Throttle valve

[GPC3000] GPC3000 [Throttle Valve Controller] 2019/09/04 (15:55) 조회(7180) 관리자

GPC3000 Throttle ValveController

GPC3000 Pressure&Flow Controller는 기본적으로 Capacitance Manometer에 Power(±15VDC)를 공급하고 이로부터 Pressure Signal을 받아들여 Display함과 동시에 Throttle Valve를 연결하고 PID또는 Self-Tuning 기능을 사용하여 Pressure를 Control하는 장치이다. 이 중에서 Self-Tuning기능을 사용하면 Chamber 내로 유입되는 Gas의 양, Pump Speed, Valve Position 별 진공 압력 변화, 그리고 기타 다른 중요한 Parameter들을 감지하여 Pressure Control Factor들을 습듭한다. User가 이 기능을 사용하여 Pressure Control을 할 경우 원하는 압력에 보다 빨리 도달 할 수 있다. Process Limit Relay가 2개 내장되어 있어 User의 장비 Process에 도움이 되도록 하였다.

 

 

Features & Benefits

■ GPC3000에는 Option으로 최대 4개의 MFC를 연결할 수 있는 PCB Card가 준비되어 있으며 PCB 1장당 2 Channel(MFC 2개 연결)로 구성되어 있다.

■ GPC3000은 아주 편리하고 간단하게 Local(Front Panel), I/O 또는 RS-232 Remote(RS-485 Option) 로 모든 제어가 가능하게 설계 되어 있다.

 

 

Product

Dimensions



Specifications

Valves Operated

ATV1000 Exhaust Throttle Valves, MKS Type

653 and 253 Exhaust Throttle Valves and Others

Pressure Input Signal

Standard : 0-10 VDC

Input Power Required90-132 or 180-264 VAC, 50/60 Hz

Set Point

Programmable

External Analog

5 total, programmable in any combin for pressure or position

(adjustable from the front panel or RS232 selectable from the front panel, TTL, or RS232)

0-10 VDC

Controller Repeatability

±0.1% of F.S

Ambient Operating

Temperature

150C - 450C

Output Power

±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp 

Analog Output Signal

0-10 VDC for 0-100% valve position  and 0-10 VDC for 1-100%, F.S pressure

Size

1/2-rack packing : 88mm H x 241mm W x 225 D

Display

128 x 64 dot Graphic LCD (pressure, position and external set-point readout)

Display Units

Soft Start

Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa Standard

PID Control

Standard

Remote Zero

Standard

Interface

Front panel, Analog, TTL and RS232 ,(RS-485 Option)

Relay Output

2, process limits : 24 Volts AC/DC 0.5Amp resistive

Remote Control Override

(Open, Close, Hold)

Standard

Position Control

Capability

Standard

Battery Backup

N/A