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제품안내

 
제품안내 Controller Flow & pressure

Flow & pressure

[GMC1200] GMC1200 [Flow & Pressure Controller] 2019/07/08 (10:23) 조회(7998) 관리자

GMC1200 Flow & Pressure Controller

GMC1200 Flow & Pressure Controller는 기본적으로 MFC(Mass Flow Controller)에 Power(±15VDC)를 공급하고 Flow량을 Display하며 안정된 Set Point Voltage (0~5VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control될 수 있도록 하는 장치이다. 또한 2 Channel(PCB 한장)의 단위로 Capacitance Manometer Display Board를 이용하여 MFC 대신 압력을 Display 할수 있도록 설계되었다. (0~10 VDC Pressure Signal), Option 사양으로 Upstream Pressure Control Board를 추가하면, 따로 Pressure Control Mode로 들어갈 수 있어서, 각 Channel에 연결된 MFC 중에서 원하는 Channel들을 임의로 선택하여 Gas의 양을 가지고 원하는 압력을 자동으로 Control 할수 있으며 동시에 압력도 Display 할 수 있다.

여기서 Pressure Control Channel로 지정되지 않는 Channel은 따로 독립적으로 Flow 양을 Control 할 수 있다. 이 모든 것이 Micro Processor로 Control 되며 RS-232 Interface를 이용한 PC Control도 가능하다.

 

Features & Benefits

초고속 마이크로 프로세서 채택.

16bit Bipolar A/D Control 사용 (± Voltage Display 가능)

문장 LCD보다 판독이 용이한 그래픽 LCD 채택.

유량이나 압력 값의 단위를 유저가 직접 입력 가능.

Gas 조절 등, 유저가 원하는 값을 숫자키를 이용하여 입력하므로 빠르고 편리한 것이 장점.

2,4,6,8 Channel 식으로 Channel 추가가 가능.

MFC 대신에 Capacitance Manometer를 연결하여 압력의 측정이 가능.

각 채널 별 비율 Control 가능. (비율 Control을 하지 안는채널은 따로 유량 Control 가능.)

Total 유량 적산 기능.

MFC와 Capacitance Manometer를 이용하여 Upstream Pressure Control이 가능 (Optional)

 

Products




Dimensions





Specifications

Physical

Width

241mm - Half Rack Mounting ears

Height

88mm - 2 U Rack 

Depth

200mm 

Weight 

Approx. 1.5kg ~ 2kgs (Depends on options) 

Electrical

Input Power

195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA (max) - default

98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA - Optional

Fuse rating

250 VAC @3 A 

Output Power

+/-15VDC  ±5% @2.7A

Operating Temperature 

0 ~ 50°c

Input Signal 

0 ~ 5.000VDC for MFC

0 ~ 10,000VDC for Capacitance Manometer 

Output Signal

0 ~ 5,000VDC for MFC Flow Command 

Display Window

128*64 dot Graphic LCD 

Display Units 

sccm, slm for MFC,  Torr for CM 

Interface

RS-232C PC Interface

TTL flow On/Off Interface