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[EG301] EG301 (Enhanced Convection Gauge)
수정일시:2018/06/07 (15:20) 조회(4591) 작성자:관리자
EG301 Enhanced Convection Gague 일반적으로 진공 Chamber에 설치되어, 실제 진공 Chamber 내에 압력을 읽어내는 게이지 이며, +24 VDC(15 VDC 가능)의 파워를 필요로 하고 3~10 VDC 시그널의 출력을 가지는 EG301 Enhanced Convection Gauge 는 반도체 공정 및 진공 장비에 사용 됩니다.
Features & Benefits ■ 넓은 범위의 압력층정 가능(2.0 X 10-4 to 760 Torr). ■ 높은 정확도 및 설치 공간의 효율성 증대. ■ Analog Output 제공하여 PLC 및 기타 장치에 직접 연결하여 Display 가능. ■ 7-segment LED 채택으로 인해 멀리서도 판독 가능. ■ RS-485 를 이용하여 PC 제어 가능. ■ 외부기기 및 공정에 사용할 수 있도록 2개의 Set-Point 제공. ■ 저비용(Sensor Wire 교체) 로 수리 가능. ■ Controller 가 필요 없이 단독으로 사용 가능.
Products Dimensions Specifications
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