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Pressure Gauge

[MPG2000] [MPG2000] [MPG1000] Mini Pressure Gauge (방폭형) 2021/12/21 (17:39) 조회(1025) 관리자

MPG2000 Mini Pressure Gague

일반적으로 진공 Chamber에 설치되어, 실제 진공 Chamber 내에 압력을 읽어내는 게이지이며, 

+ 24VDC (15VDC 가능) 의 파워를 필요로하고 1~5VDC 시그널의 출력을 가지는 MPG 2000  Pressure Gauge 

는 반도체 공정 및 진공 장비에 사용됩니다.

사이즈를 최소화하여 작은 공간에도 사용이 가능합니다.

 

Features & Benefits

■ 넓은 범위의 압력층정 가능(1.0 X 10-3 to 1 Torr).

■ 설치 공간의 효율성 증대.

■ Analog Output 제공하여 PLC 및 기타 장치에 직접 연결하여 Display 가능.

■ Linear 한 Output 제공 ( 5.000 to 1.000 VDC , 1 mtorr 증가시 4mVolt 씩 증가)

■ Low Cost


Products

Dimensions

Specifications (방폭)

Physical

방폭구조

Ex Na II T6 IP54

Input Power required

+24 VDC (15VDC 가능) 100 mA

Voltage Output current

10 mA

Overpressure Limit

10 bar (150 psi)

Accuracy

+/- 1.0 %

Resolution

0.001 m torr

직선성

Linear 한 Output 제공 ( 5.000 to 1.000 VDC , 1 mtorr 증가시 4mVolt 씩 증가)

사용 습도

0 ~ 100 %

사용 온도(온도에 따라 오차율)

 0 ~ 50°C  (0-10 °C  이내 또는 40-50°C 이내 , 0.2 < % of Full Scale)

케이스 재질

 SUS 304

 절연저항

 35 MΩ / 500 Volt

 가스 접합부 재질

 SUS 316L

 용접방법

 레이저 용접

 Leak Rate

 1 x 10-9 Torr 이하 (He Leak detector 사용)