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AFC500 최대 유량 변경 문의 2023/01/19 (09:44) 조회(82) 김용선

안녕하세요.

 

첨부 사진처럼 현재 AFC500 제품을 3개 사용하고 있는데,

최대 유량 변경이 가능한지 문의드립니다.

 

Ar   : 1000sccm (현재) -> 300sccm (변경)

CH4 : 10sccm            ->  50sccm

H2   : 100sccm          -> 500sccm

 

 

감사합니다.

 

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댓글 : 1개
  • 관리자 2023/01/19 16:50

    메일로 답변 드렸습니다.