안녕하세요.

첨부 사진처럼 현재 AFC500 제품을 3개 사용하고 있는데,

최대 유량 변경이 가능한지 문의드립니다.

Ar   : 1000sccm (현재) -> 300sccm (변경)

CH4 : 10sccm            ->  50sccm

H2   : 100sccm          -> 500sccm

감사합니다.