안녕하세요,

아주대학교 서형탁 교수님 연구실 석사과정생 이상민이라고 합니다. 

현재 저희 연구실에서 RTP 장비에 GMC1200 제품을 사용하고 있습니다. 

MFC 컨트롤러에 총 4개의 gas가 연결 가능한 것으로 보이는데 현재 Ar, O2, N2 3개를 사용하고 있습니다. 

이 상황에서 H2 gas(N2 96%, H2 4%)를 추가하려고 합니다. 

MFC 컨트롤러 4번을 H2 gas(N2 96%, H2 4%)로 셋업하고 사용하려고합니다. 

현재 저희가 MFC 홀더를 3개만 보유하고 있는데, 신규 H2 gas(N2 96%, H2 4%)를 N2 gas 홀더와 함께 사용해도될지, 

만약 사용이 가능하다면 MFC 컨트롤러 4번에 H2 gas(N2 96%, H2 4%)에 해당하는 소프트웨어 세팅을 위한 매뉴얼을 요청드리려 합니다. 

저희 연구실 장비 상황 사진으로 함께 첨부하도록 하겠습니다. 

감사합니다.