안녕하세요. 숙명여대 김수민 교수님 연구실 권지수입니다.

CVD 기기에 vacuum controller로 CG 2000제품을 사용중인데요.

기기 사용 중 모니터에 "E3 -" 라고 표시되어서 문의 드립니다.

진공상태를 사용중은 아니고 외부로 나가는 밸브는 열어둔채 아르곤 가스 50sccm으로 흘러주고 있는 상태에서 나타난 표시입니다.

혹시 어떤 에러 상태인지 아니면 상관없는건지 알려주시면 감사하겠습니다.