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AFC500 Model 관련 문의 2022/06/27 (12:50) 조회(39) 이인용

안녕하세요.

 

AFC500-12CRV Model 관련 문의사항이 있습니다.

현재 N2, Ar으로 setting된 해당 모델의 MFC가 있는데요.

GMC1200 Controller로 연결해서 사용을 하는데 actual value가 50 sccm으로 표시됨에도 불구하고 MFC outlet 단에서 gas flow가 나오지 않습니다.

cable은 9pin D-sub cable로 사용했습니다.

MFC 문제라면 혹시 repair 요청도 가능한지 문의 드립니다.

 

감사합니다.

댓글 : 1개
  • 관리자 2022/06/30 14:56

    메일로 답변 드렸습니다.